Panele kompaktowe

Produkty zostały zaprojektowane specjalnie dla gazów półprzewodnikowych / ultra czystych. W ich skład wchodzą regulatory ciśnienia, zawory, stacje rozprężania, VMP'S, VNB i szafy na butle gazowe. Armatura wykonana jest ze stali nierdzewnej o powierzchni elektro-polerowanej i z membran Hastelloy. Występowanie tzw. martwych punktów „dead space” zostało ograniczone do minimum poprzez zoptymalizowane komponenty, z pełno metalicznymi przyłączami VCR. Opatentowane urządzenia oczyszczające gaz zapewniają wymaganą czystość mediów.